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PRODUCT

Cross Section Polisher

CP-8000

제품소개

COXEM의 CP-8000은 Cross section Polisher로 단면 가공 장비입니다. 이는 Ar 플라즈마를 이용하여 시료의 가공변화 없이 단면을 식각하는 장비로써 시료내부의 상태를 SEM 이미지와 함께 기타분석 장비 (EDS,WDS,EBSD,etc)와 동시분석을 활용하기에 적합한 시스템입니다.

어플리케이션


 

제품사양

Gas UsedAr(Argon) gas
Milling Speed150 μm/h (Si at 5kV)
Accelerating Voltage2~8 kV
Beam DiameterApprox. 500 μm
Working Pressure 2.0 x 10-4 torr
Beam AlignmentPrecision beam alignment
using fluorescent screen
Maximum Sample Size20(W) x 12(D) x 7(H)mm
Sample Moving Range(Z: ±2mm, Y: ±2mm)
Rotation -35° ~ +35°
Operation Touch panel,(7 inch display)
Evacuation SystemTurbo-molecular pump (66L/s)
+ Rotary Pump 100L
Dimension590(W) x 440(D) x 260(H)mm
WeightMain unit 30kg,
Rotary pump 23kg
Optional Accessories CCD Camera for viewing
the specimen during milling

Optional Products

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